研究シーズ集

研究の目的、概要、期待される効果

　チタン合金、タンタル、ニオブやモリブデンなどの特殊金属やガラス・セラミックスなどの材料の微細加工装置とセンサ・デバイスへの応用研究を進めています。
　MEMS技術の主体は、シリコンのセンサ・デバイスですが、機械・化学的に耐久性の観点では、シリコンでは対応できない特殊な用途もたくさんあります。その例をあげると、急激な圧力変化が与えられる圧力センサや繰り返し使用するマイクロ・ナノ鋳型などがあります。
　本研究室では特殊金属を高速加工可能な熱アシスト型反応性イオンエッチング法を考案し、前述の特殊な金属の高速加工が可能になりました。本技術では、比較的に安価で広く普及している平行平板型反応性イオンエッチング装置に部品を取り付けるだけで、高性能化することができます。

　想定されるマーケットの例を以下に記します。
　・耐衝撃圧力・力センサ（真空、高圧下用）
　・耐衝撃スイッチ（機械、電気的耐性）
　・マイクロ・ナノ鋳型
　・耐食性マイクロ電極
　・バルブ、ポンプ（耐食性、耐衝撃）
　・各種水晶センサ、振動子

図1 　特殊金属製センサ・デバイス生産装置

図2　各種材料のマイクロ加工例